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產(chǎn)品型號：CY-EBH500-SS廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2025-11-16訪 問 量：258產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區(qū)間 | 1-5萬 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 文體,地礦,能源,建材/家具,鋼鐵/金屬 |
簡單介紹：
多源真空蒸發(fā)鍍膜儀適用于對氧敏感的金屬薄膜（如Ti、Al、Au等）的蒸鍍，也適用于各種氧化物材料的蒸鍍。
詳情介紹：
本設(shè)備采用前開門式真空腔體設(shè)計(jì)，腔體空間大，可拓展性強(qiáng)，能夠滿足多樣式大尺寸樣品的蒸發(fā)鍍膜。腔體內(nèi)配有上置樣品臺，可根據(jù)用戶樣品樣式選取夾持或卡位式樣品安裝部件。樣品臺可旋轉(zhuǎn)、加熱及升降，所有操作均通過觸控屏集成控制。設(shè)備的真空泵組為兩級式真空系統(tǒng)，由雙極旋片真空泵和渦輪分子泵組成，可為真空鍍膜試驗(yàn)提供清潔無油的高真空的環(huán)境；真空系統(tǒng)內(nèi)含有完善的氣動閥系統(tǒng)，用戶可通過觸控屏進(jìn)行一鍵式操作實(shí)現(xiàn)抽取真空、不停機(jī)取放樣、停機(jī)等操作。
本設(shè)備的蒸發(fā)源共兩組，采取鎢舟蒸發(fā)源，水冷式銅電極，可支持300A的大電流，加熱溫度可達(dá)1800℃，可實(shí)現(xiàn)多種難熔金屬的蒸鍍。本設(shè)備采用一體化設(shè)計(jì)，腔體和電控部分左右分置，實(shí)現(xiàn)了水電分離。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結(jié)合的設(shè)計(jì)，真空系統(tǒng)、樣品臺等輔助功能通過觸控屏一鍵操作，通電蒸發(fā)、膜厚控制等通過面板獨(dú)立操作，在盡可能方便用戶的同時規(guī)避了誤操作的可能。
技術(shù)參數(shù):
多源真空蒸發(fā)鍍膜儀 | ||
樣品臺 | 尺寸 | φ150mm樣品 |
高度 | 上下150mm可調(diào) | |
蒸發(fā)源 | 數(shù)量 | 鎢舟x2 |
真空腔體
| 腔體尺寸 | φ500x700mm |
觀察窗口 | 前置φ100mm含遮光片 | |
腔體材料 | 304不銹鋼 | |
開啟方式 | 前開門式 | |
膜厚控制 | 晶振式膜厚測量儀，可選多通道膜厚控制儀 | |
真空系統(tǒng)
| 前級泵 | 雙極旋片泵 |
抽氣接口 | KF16 | |
次級泵 | 渦輪分子泵 | |
抽氣接口 | ISO160 | |
真空測量 | 電阻+電離 復(fù)合真空規(guī) | |
排氣速率 | 機(jī)械泵1.1L/s 分子泵 600L/s | |
極限真空 | 1.0E-5Pa | |
供電電源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽氣速率 | 旋片泵：1.1L/S | |
流量計(jì) | 可選一路質(zhì)量流量計(jì) 500sccm Ar氣 | |
控制系統(tǒng) | PLC自動控制 操作界面：觸控屏+操作面板 | |
其他
| 供電電壓 | AC220V,50Hz |
整機(jī)尺寸 | 1200mm X 900mm X 1500mm | |
整機(jī)重量 | 500kg | |
整機(jī)功率 | 5kW | |
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